論文発表
†院生の本図優奈さんの研究成果を論文誌に発表しました．大阪大学産業科学研究所の二次イオン質量分析器（SIMS）を利用した研究です．
Diffusion of oxygen in amorphous HfO2
アモルファスハフニア中の酸素の拡散
Yuna Motozu, Ryusuke Nakamura, Sota Hoshishima, Takeyuki Suzuki
Journal of Physics and Chemistry of Solids, 199, 112499 (2025)
ハフニウム酸化物（HfO2）は新たな強誘電薄膜物質として期待されます．酸素イオンの動きは材料の作製プロセスや誘電特性に関係します．
測定に十分な厚さの，一様な非晶質（アモルファス）薄膜を入念に作製し，酸素イオンの動きの速さ（拡散係数）を測定しました．
