評価装置

走査型顕微鏡(FE-SEM)

概要と仕様

走査型顕微鏡(FE-SEM)走査型電子顕微鏡(Field Emission Scanning Electron Microscope、FE-SEM)は電子顕微鏡の一種である。FE-SEMは、電界放射型走査電子顕微鏡を指し、電子線源となる電子銃はフィールドエミッション(FE)電子銃である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子、透過電子、X線などを検出する事で対象を観察する。通常は二次電子像が利用され、試料表面の凹凸や形態の観察に優れています。S-4100、分解能:5 nm、倍率:20~500,000、加速電圧:0.5 ~30kV。デジタル画像処理装置が付属されています。