滋賀県立大学 工学部 材料科学科 金属材料研究室公式Webサイト

概要と仕様

　電界放射型走査型電子顕微鏡（Field Emission Scanning Electron Microscope、FE-SEM）は電子顕微鏡の一種である。電子線源となる電子銃はフィールドエミッション（FE）電子銃である。電子線を絞って電子ビームとして対象に照射し、対象物から放出される二次電子、反射電子、透過電子、X線などを検出する事で対象物を観察する。通常は二次電子像が利用され、試料表面の凹凸や形態の観察に優れています。HITACHI S-4500、分解能:1.5 nm、倍率：20～500,000 倍、加速電圧：0.5～30 kV。デジタル画像処理装置が付属されています。