評価装置

原子間力顕微鏡 (AFM)

概要と仕様

原子間力顕微鏡原子間力顕微鏡 (Atomic Force Microscope; AFM) は、先端を尖らせた探針を用いて、物質の表面をなぞるように動かして表面状態を拡大観察する顕微鏡の種類である。実際の表面を観察する際、微少な電流(トンネル電流)を利用する走査型トンネル顕微鏡(STM)、原子間力を利用する原子間力顕微鏡(AFM)がモードでの測定が可能であり、導電及び絶縁試料表面の凹凸形状の観察・評価を行うに用いられる。AFM:原子分解能(コンタクトモード時マイカ原子象)、STM:原子分解能(HOPG原子象)。また、AFMはノンコンタクトモード、ACモード、コンタクトモード、スペクトロスコピーが可能。